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真空解決方案 真空解決方案

真空解決方案

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光學鍍膜真空解決方案

真空薄膜鍍膜

生產(chǎn)眼鏡、鏡子和反射鏡需要先進的技術(shù),包括一些借助真空實現(xiàn)的技術(shù)。真空在其中起到重要作用的工藝是生產(chǎn)抗反射和抗刮擦的薄膜層。您對眼鏡的特殊濾光片、紅外和紫外濾光片可能習以為常,但是光學鍍膜也有大量的科學應用。從科研顯微鏡到空間觀測用的詹姆斯·韋伯望遠鏡,專用光學濾光鏡無處不在。

采用 PVD 的光學鍍膜

對于光學鍍膜而言,需要將許多薄層相結(jié)合以創(chuàng)造各種反射特性或?qū)觼硖岣吖鈱浴_@些層通常應用于批量鍍膜系統(tǒng)中的稱為“物理氣相沉積”(PVD) 的工藝中或用于蒸發(fā)工藝中,所有這些工藝都是在壓力范圍為 10-2 至 10-3 mbar 的真空條件下進行。

光學鍍膜應用需要能夠在真空室內(nèi)將期望的真空度維持在穩(wěn)定的數(shù)值的精密系統(tǒng)。Leybold 萊寶提供這些系統(tǒng)所需的所有真空產(chǎn)品,包括:

前級泵或“前級”真空泵

在該工藝的第一階段,必須使用“粗真空”泵從真空室中清除環(huán)境氣體和濕度,以便快速抽空真空室。我們擁有多個產(chǎn)品系列,包括 DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVAC 和 RUVAC 泵,能夠滿足您的工藝的具體要求。您可以將多個系統(tǒng)進行組合,以獲得理想的抽取速度并降低擁有成本。

高真空抽取

在該工藝的下一步中,將工藝室抽至 5x10-6 mbar 及更低的真空度,并且需要持續(xù)使用氬氣、氮氣和氧氣等氣體使其在工作壓力范圍內(nèi)保持在這一水平。某些工藝需要無油、無塵和無振動的工藝環(huán)境。在這種情況下,我們建議使用 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 泵。對于要求不太高的工藝,擴散泵(DIJ 和 DIP)更為適合。
高真空系統(tǒng)需要能夠在高氣體負載下持續(xù)運行,并能長期運行。

可靠且經(jīng)濟高效的裝置

Leybold 萊寶的泵專為鍍膜應用而設(shè)計,數(shù)十年來一直備受客戶青睞。經(jīng)驗還告訴我們,可靠性和正常運行時間非常關(guān)鍵。因此,我們建議制定定期維護計劃和使用 OEM 備件。在您妥善保養(yǎng)真空系統(tǒng)的條件下,您還可以節(jié)省運營成本。與您當?shù)氐?Leybold 萊寶代表聯(lián)系,找出理想的解決方案,讓您的生產(chǎn)始終保持正常運行。

工藝控制解決方案

確保您始終可以準確地測量真空沉積工藝的真空條件。借助我們的全系列真空計,您可以確保始終能夠監(jiān)控工藝的理想條件。您的 Leybold 萊寶代表將非常愿意為您提供有關(guān)理想工藝控制解決方案的建議。檢漏和 RGA(殘余氣體分析儀)系統(tǒng)在工藝重復性和可靠性方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

系統(tǒng)整合

我們的泵經(jīng)過精心設(shè)計,可以出色地配合使用,但有時您的工藝需要更多的控制和監(jiān)測解決方案。在這種情況下,我們會安裝支持您的生產(chǎn)工藝的 PLC 或控制器。

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